SiC Konsol Kanatları
Semixlab'ın SiC Konsol Paletleri, epitaksi, oksidasyon ve CVD gibi yüksek sıcaklıklı yarı iletken proseslerinde yonga işleme için tasarlanmış, hassas mühendislikle üretilmiş bileşenlerdir. Yüksek saflıkta yeniden kristalize veya CVD silisyum karbürden üretilen bu paletler, mükemmel termal iletkenlik, düşük termal genleşme ve olağanüstü kimyasal direnç sunar. Hafif ve yüksek mukavemetli tasarımları, hızlı termal döngü sırasında boyutsal kararlılık ve yonga koruması sağlar. Küresel yarı iletken liderlerinin güvendiği Semixlab, tamamen özelleştirilmiş çözümler, hızlı teslimat ve uzun ürün ömrü sunarak gelişmiş yarı iletken üretim ihtiyaçları için ideal bir ortak haline getirir.
Açıklama
Ⅰ. Hassas Gofret İşleme için Yüksek Saflıkta SiC Konsol Kanatları
SiC Konsol Kanatçıklar, yarı iletken üretiminde epitaksi, difüzyon ve oksidasyon aşamalarında yonga plakalarının işlenmesinde kullanılan termal işleme ekipmanlarında kullanılan kritik bileşenlerdir. Olağanüstü termal ve mekanik özellikleri, onları temiz oda operasyonlarındaki yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlar için ideal hale getirir.
Ⅱ. Ürün Genel Bakışı ve İşlevsel Avantajlar
1. Yüksek Performanslı Uygulamalar için Olağanüstü Malzeme Özellikleri
Semixlab'ın SiC Konsol Kanatları, yüksek saflıkta, yeniden kristalleştirilmiş silisyum karbür (R-SiC) veya CVD SiC kaplamalardan üretilerek mükemmel ısı iletkenliği (120 W/m·K'ye kadar), düşük ısıl genleşme (~4.0 x 10⁻⁶/K) ve korozyona ve termal şoka karşı olağanüstü direnç sağlar. Bu özellikler, yüksek sıcaklıklı işlemler sırasında kararlı gofret desteği sağlayarak gofret deformasyonunu veya kirlenme risklerini en aza indirir.
2. Üstün Boyutsal Kararlılık ve Düzlük
1400°C'yi aşan sıcaklıklarda bile minimum eğilme sağlayan konsol tasarımı, epitaksiyel katman homojenliği için hayati önem taşıyan düzgün gofret yerleşimi ve aktarımı sağlar. SiC'nin düşük kütlesi ve yüksek sertliği, hızlı termal işlem sırasında sistem verimini ve sıcaklık tepkisini iyileştirir.
3. Temiz Oda Sınıfı Yüzey Saflığı
Yoğun ve pürüzsüz SiC yüzey kaplaması sayesinde Semixlab paletleri, partikül oluşumunu ve gaz salınımını en aza indirir. Bu, özellikle Sınıf 1 veya ISO 14644-1 Sınıf 2 temizlik seviyeleri gerektiren ortamlarda önemlidir.
4. Epitaksiyel, Difüzyon ve CVD Fırınları için Özel Olarak Tasarlanmıştır
SiC Konsol Paletlerimiz, MOCVD, LPCVD ve oksidasyon fırın platformlarında yaygın olarak kullanılmakta olup, ASM, TEL ve Veeco gibi lider ekipman markalarıyla uyumludur. Optimum termal homojenlik ve mekanik hassasiyet için tasarlanmış olup, daha yüksek verim ve daha düşük proses varyasyonu sağlamaya yardımcı olur.
Ⅲ. Neden Semixlab'ı Seçmelisiniz?
Aşağıdakiler de dahil olmak üzere, size özel mühendislik hizmetleri sunuyoruz:
● Boyut, yapı ve malzeme sınıfına göre ürün özelleştirmesi
● Termal ve kimyasal direnç için kaplama optimizasyonu
● Hızlı prototipleme ve küçük parti üretim yetenekleri
● Teknik danışmanlık ve tasarım doğrulaması
SiC Konsol Kanatçıkları ürünlerinin önde gelen Çinli üreticisi ve fabrikası olan Semixlab, özelleştirilmiş teknoloji ve ürün çözümleri sağlama konusunda ısrarcıdır. Mevcut ısıl işlem sürecini optimize etmek, yüksek performanslı yedek parçalar satın almak veya özelleştirilmiş SiC çözümleri birlikte geliştirmek istiyorsanız, Semixlab size teknik ve teslimat desteği sağlayacaktır.
Başvurular
● MOCVD epitaksi gofret taşıyıcıları
● Oksidasyon ve difüzyon fırını kanat kolları
● LPCVD/CVD takımlarında gofret yükleme sistemleri
● Bileşik yarı iletken büyümesi için özelleştirilmiş alıcı destek kolları

Hizmetlerimiz

Semixlab Ürün Mağazası


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




