Yüksek saflıkta gözenekli grafit

Yüksek saflıkta gözenekli grafit, olağanüstü termal kararlılığı, ultra düşük kirlilik seviyeleri ve proses tutarlılığının son derece önemli olduğu gelişmiş yarı iletken üretiminde kritik bir malzemedir. Semixlab'ın yüksek saflıkta gözenekli grafit çözümleri, yüksek sıcaklık ve kirliliğe duyarlı yarı iletken prosesleri için özel olarak tasarlanmıştır.

Epitaksi işlemlerinde, yüksek saflıkta gözenekli grafit, alt tabaka tutucular, gofret taşıyıcılar, gaz dağıtım yapıları ve termal alan elemanları gibi temel bileşenlerde yaygın olarak kullanılmaktadır. Si, SiC ve GaN epitaksiyel büyümesi sırasında, hassas sıcaklık homojenliği ve kararlı gaz akışı, film kalınlığı kontrolü, doping homojenliği ve kusur bastırma için kritik faktörlerdir. Semixlab grafitin gözenekli mikro yapısı, gofret yüzeyi boyunca daha homojen bir termal dağılım ve kontrollü gaz difüzyonu sağlayarak sınır tabakası kararsızlığını ve kenar etkilerini azaltır.

1000 °C'nin üzerinde sürekli çalışma gerektiren difüzyon ve oksidasyon süreçlerinde, yüksek saflıkta gözenekli grafit, wafer tekneleri, astarlar ve ısı yalıtım bileşenleri için güvenilir bir yapısal ve destek malzemesi görevi görür. Yoğun grafite kıyasla, gözenekli yapısı tekrarlanan termal döngüler sırasında termal stresi ve deformasyonu azaltarak boyutsal kararlılığı artırır ve bileşen ömrünü uzatır. Doğal kimyasal inertliği ve düşük safsızlık içeriği, temiz bir proses ortamının korunmasına yardımcı olur, katkı maddesi difüzyon profilleri ve oksit film kalitesi üzerinde sıkı kontrolü desteklerken parçacık oluşumu ve çapraz kontaminasyon risklerini en aza indirir.

CVD, LPCVD ve PECVD proseslerinde, yüksek saflıkta gözenekli grafit, reaktif gazlara ve yüksek sıcaklıklara maruz kalan ısıtıcılar, wafer taşıyıcıları ve iç hazne bileşenlerinde kritik bir rol oynar. Malzemenin mükemmel termal iletkenliği, hızlı ve homojen ısı transferi sağlarken, gözenekli yapısı da birikim yan ürünlerinin kontrollü bir şekilde hapsedilmesini sağlayarak, uzun süreli ekipman çalışması sırasında pul pul dökülmeyi ve parçacık salınımını en aza indirir. Bu durum, proses kararlılığının artmasına, bakım aralıklarının uzamasına ve ekipman çalışma süresinin artmasına doğrudan katkıda bulunur.

Semixlab'ın yüksek saflıkta gözenekli grafiti, hammadde seçimi, saflaştırma ve mikro yapı mühendisliğinin titizlikle yönetildiği sıkı bir kalite kontrol sistemi altında üretilmektedir. Daha uzun hizmet ömrü veya daha zorlu kimyasal ortamlarda çalışma gerektiğinde, bu ürün SiC veya TaC gibi gelişmiş koruyucu kaplamalarla uyumludur. Olağanüstü tasarım esnekliği, işlenebilirlik ve gelişmiş yarı iletken kaplama teknolojisinden yararlanan çözümlerimiz, yarı iletken ekipman platformunuzun ve işlem düğümünüzün özel gereksinimlerine tam olarak uyarlanabilir. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmaktan içtenlikle memnuniyet duyarız.