Kuvars gofret tekne taşıyıcısı

Semixlab kuvars tekne desteği, yarı iletken, fotovoltaik, LED ve hassas elektronik endüstrileri için tasarlanmış yüksek performanslı bir taşıma aracıdır. Yüksek saflıkta sentetik kuvars malzemeden yapılmıştır. Yüksek sıcaklık proseslerinde temel sarf malzemeleri olarak kuvars tekne destekleri, mükemmel termal kararlılıkları, kimyasal eylemsizlikleri ve ultra uzun hizmet ömürleri nedeniyle difüzyon, tavlama, oksidasyon, CVD (kimyasal buhar biriktirme) ve diğer proseslerde gofretler, silikon gofretler, cam alt tabakalar ve diğer hassas bileşenler için ideal taşıyıcılar haline gelmiştir ve müşterilerin verimli ve istikrarlı üretim proseslerine ulaşmalarına yardımcı olmaktadır.

Uygulama senaryoları veya ekipmanlar: 

Yarı iletken difüzyon, tavlama, oksidasyon ve CVD (Kimyasal Buhar Biriktirme) işlemi.

Şirket gücü

Semixlab Technology Co.,Ltd'nin 2 Ar-Ge merkezi, 2 üretim üssü, 12 üretim hattı, 150'den fazla çalışanı vardır ve Ar-Ge yatırımı %30'dan fazlasını oluşturmaktadır. Ürün düzenimiz esas olarak LED, IC entegre devre, üçüncü nesil yarı iletken, fotovoltaik ve diğer endüstrilerde kullanılmaktadır. Semixlab güçlü Ar-Ge, üretim ve entegre test ve doğrulama yeteneklerine sahiptir. Aynı zamanda, yılda onlarca milyonluk yatırımla teknolojimizi ve ekipmanımızı sürekli olarak geliştiriyoruz.

Özelleştirilmiş hizmetler

Farklı ihtiyaçları karşılamak için esnek özelleştirme hizmetleri sunuyoruz ve aşağıdaki parametre ayarlamalarını destekliyoruz:

Boyut özellikleri: 8 inç ve 12 inç gibi farklı yüzeylere uyum sağlayın veya müşteri çizimlerine göre özel şekilli yapıları özelleştirin.

Yüzey İşlemleri: İsteğe bağlı kumlama, kaplama (silisyum karbür kaplama gibi) ve belirli senaryolarda uygulanabilirliği artıran diğer işlemler.

Aksesuar entegrasyonu: Kuvars sütunlar, deflektörler ve diğer bileşenlerle eşleştirilerek komple bir taşıma sistemi oluşturulabilir.

Kalite Güvence Sistemi

Hammadde testleri: İthal yüksek saflıkta kuvars kumu, ICP-MS (endüktif eşleşmiş plazma kütle spektrometrisi) ile analiz edildi.

Proses kontrolü: CNC hassas işleme + otomatik test, anahtar boyut toleransı ≤±0.05mm.

Temiz paketleme: Taşıma sırasında kontaminasyonu önlemek için Sınıf 100 ultra temiz ortam paketlemesi.

Tipik uygulama senaryoları

Yarı iletken üretimi: Difüzyon fırınları ve dikey fırınlarda yonga plakalarının yüksek sıcaklıkta tavlanması, oksidasyonu ve ince film biriktirme işlemlerinde kullanılır.

Fotovoltaik endüstrisi: PERC ve TOPCon hücrelerinin PECVD, fosfor difüzyonu ve diğer proseslerde taşınması ve iletilmesi.

LED epitaksi: MOCVD ekipmanlarında safir alt tabakaların hassas konumlandırılması ve yüksek sıcaklıkta epitaksiyel büyümesi.

Araştırma alanı: Laboratuvar yüksek sıcaklık fırınlarında ve vakum ortamlarında malzeme sinterleme ve testleri.

1. Mükemmel yüksek sıcaklık dayanımı

Kuvars tekne desteği, son derece düşük bir termal genleşme katsayısıyla (yaklaşık 1200×5.5⁻⁷/℃) uzun süre 10℃'nin üzerindeki yüksek sıcaklık ortamlarına dayanabilir. Hızlı soğutma ve ısıtma koşulları altında bile yapısal kararlılığını koruyabilir, termal stresin neden olduğu çatlama veya deformasyonu önleyebilir ve işlem tekrarlanabilirliğini sağlayabilir.

2. Ultra yüksek saflık ve kimyasal inertlik

%99.99 veya daha fazla yüksek saflıkta kuvars kumundan üretilmiştir, çökelme veya kirlenme olmaz, yüksek sıcaklıkta metal iyonlarının veya partikül kirliliklerinin gofret yüzeyini kirletmesini etkili bir şekilde önler, özellikle sıkı temizlik gereksinimleri olan gelişmiş prosesler (örneğin 7 nm'nin altındaki çip üretimi) için uygundur.

3. Hassas yapısal tasarım

Tekne desteğinin yüzeyi yüksek hassasiyetle (pürüzlülük Ra≤0.2μm) cilalanmış olup, çeşitli boyutlardaki alt tabakaları (8/12 inçlik gofretler gibi) istikrarlı bir şekilde taşıyabilen patentli bir yuva yapısı ile donatılmış olup, homojen ısıtma ve gaz sirkülasyonu sağlayarak proses homojenliğini iyileştirir.

4. Ultra uzun hizmet ömrü

Geleneksel grafit veya seramik taşıyıcılarla karşılaştırıldığında, kuvars malzemeler güçlü korozyon direncine, asidik/alkali ortamlarda düşük kayıp oranına sahiptir ve sürekli kullanım döngüsü 12-24 aya ulaşabilir, bu da müşterinin kapsamlı maliyetlerini önemli ölçüde azaltır.