EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Yarı iletkenler için yüksek saflıkta izostatik grafit
Yüksek saflıkta izostatik grafit, yarı iletken üretiminde önemli bir ileri teknoloji malzemesidir. Isıl homojenliği, boyutsal hassasiyeti ve kontaminasyonsuz performansıyla izostatik grafit, MOCVD, RTP, difüzyon ve SiC epitaksi gibi ileri yarı iletken proseslerinde vazgeçilmez olmaya devam etmektedir. Homojen yoğunluğu ve mükemmel işlenebilirliği, karmaşık ve yüksek performanslı bileşenlerin hassas bir şekilde üretilmesini sağlar. Daha fazla danışmanlık için sabırsızlanıyoruz.
Açıklama
Özellikler
| İzostatik grafitin fiziksel özellikleri | ||
| Varlığınızı | birim | Tipik değer |
| Kütle yoğunluğu | g / cm | 1.83 |
| Sertlik | HSD | 58 |
| Elektrik özdirenç | μΩ.m | 10 |
| Bükülme mukavemeti | Mpa | 47 |
| Basınç dayanımı | Mpa | 103 |
| Gerilme direnci | Mpa | 31 |
| Young Modülü | GPa | 11.8 |
| Termal Genleşme (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
| Termal iletkenlik | Kadın·m-1· K-1 | 130 |
| Ortalama Tane Boyutu | um | 8-10 |
| gözeneklilik | % | 10 |
| Kül İçeriği | ppm | ≤5 (saflaştırıldıktan sonra) |
Başvurular
Semixlab Yüksek Saflıkta İzostatik grafit, yüksek saflığı, ince taneli yapısı, homojen yoğunluğu, termal şok direnci ve mükemmel işlenebilirliği sayesinde yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Aşağıda başlıca bitmiş ürünler ve kritik süreçlerdeki rolleri yer almaktadır:
Yarı İletken Uygulamaları için İzostatik Grafit
1. MOCVD'de (Metal-Organik Kimyasal Buhar Biriktirme)
MOCVD, GaN, GaAs ve SiC'den oluşan epitaksiyel katmanların üretiminde kullanılan temel bir işlemdir. İzostatik grafit genellikle şunları üretmek için kullanılır:
● Alıcılar: Reaktör içindeki gofretleri tutan ve döndüren gofret taşıyıcıları olarak görev yaparlar. Gofret yüzeyinde tutarlı epitaksiyel büyüme sağlayarak düzgün bir ısı transferi sağlarlar. Kimyasal direnci artırmak ve kullanım ömrünü uzatmak için genellikle CVD SiC veya TaC ile kaplanır.
● Wafer Taşıyıcıları / Grafit Tekneleri: Birden fazla wafer'ı aynı anda yüklemek için kullanılır. Wafer'ın düzlüğünü korumak ve kirlenmeyi önlemek için hassas işleme gerektirirler.
● Isıtıcı Elemanlar: Grafit ısıtıcılar, yüksek kaliteli epitaksi için gerekli olan kararlı ve düzgün termal alanlar sağlar.
Ana rolü: İzostatik grafit, sıcaklık homojenliğini, kimyasal kararlılığı ve uzun hizmet ömrünü garanti eder; bu da epitaksiyel film kalitesini doğrudan etkiler.
2. Tavlama ve Difüzyon Fırınlarında
Katkı maddesi difüzyonu, oksidasyon ve tavlama gibi yüksek sıcaklıktaki termal işlem adımları, aşağıdakiler de dahil olmak üzere izostatik grafit bileşenlerine büyük ölçüde dayanır:
● Difüzyon Fırın Tekneleri: Yüksek sıcaklıkta tavlama ve katkı maddesi difüzyon işlemleri sırasında gofretleri tutar. Grafit, tekrarlanan termal döngüler altında mükemmel termal stabilite ve minimum deformasyon sağlar.
● Astarlar ve Yalıtım Bileşenleri: Grafit astarlar ve kalkanlar, fırın odalarını kirlenmeye karşı korur ve sıcaklık homojenliğini artırır.
● Isıtıcı Borular ve Elemanlar: Yüksek sıcaklık ortamlarında dirençli ısıtıcı olarak kullanılır, hassas ve tutarlı ısı sağlar.
Ana rol: İzostatik grafit bileşenleri, katkı maddesi aktivasyonu ve kusur azaltma için kritik öneme sahip, kirlenme içermeyen, kararlı ve tekrarlanabilir ısıl işlem sağlar.
3. SiC Epitaksi (4H-SiC, 6H-SiC büyümesi)
SiC epitaksiyel büyütme, ultra yüksek sıcaklıklar (>1500°C) ve aşındırıcı gaz ortamları gerektirir. İzostatik grafit, aşağıdakilerin üretiminde kullanılır:
● SiC Kaplı Suseptörler: SiC epitaksi sırasında alt tabakaya destek sağlar, aşırı koşullar altında mükemmel ısı dağılımı ve yüzey stabilitesi sağlar.
● Grafit Kürekler ve Gofret Tutucular: Dönme ve gaz akışı sırasında gofretleri sabitleyerek, düzgün büyüme hızı ve katman kalınlığı sağlar.
● Proses Tüpü Bileşenleri: Epitaksi reaktörleri içindeki yapısal grafit parçalar, saflığı korurken agresif ortamlara dayanıklıdır.
Ana rol: SiC epitaksi içindeki izostatik grafit, boyutsal hassasiyet, kimyasal direnç ve güvenilir termal yönetim sağlar; bunlar doğrudan gofret verimini ve epitaksiyel film düzgünlüğünü etkiler.
Çin'de yüksek saflıkta izostatik grafitin lider tedarikçisi olan Semixlab, yarı iletken işleme endüstrisi için gelişmiş ürünler ve teknik çözümler sunmaya kendini adamıştır. Sorularınızı her zaman memnuniyetle karşılıyor ve uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle umuyoruz.
Hizmetlerimiz
Semixlab Ürün Mağazası
