EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
PZT piezoelektrik ince film levhalar
Semixlab'ın PZT Piezoelektrik ince film levhaları, üst düzey MEMS cihazları için temel fonksiyonel malzeme görevi görür. Gelişmiş PVD (Fiziksel Buhar Biriktirme) süreçlerinden yararlanarak, olağanüstü yüksek piezoelektrik sabitleri ve üstün homojenlik ile karakterize edilen 6 inç ve 8 inç standart alt tabakalara polikristalin PZT ince film biriktirmeyi başardık. Atomik ölçekte düzlük ve hassas kristal yönlendirme kontrolü ile ürünlerimiz, üretim kalitesinde tutarlılık ve yüksek verim sağlarken elektromekanik dönüşüm verimliliğini önemli ölçüde artırır. Akustik dönüştürücüler, hassas mikro pompalar ve RF iletişimi de dahil olmak üzere en son teknoloji MEMS uygulamaları için mükemmel bir şekilde uygundur ve müşterilerimizin laboratuvar Ar-Ge'sinden büyük ölçekli seri üretime sorunsuz bir şekilde geçiş yapmalarını sağlar.
Açıklama
Tipik Yığın
Ana akım MEMS üretimi için tasarlanan ürünlerimiz, yarı iletken işleme hatlarıyla sorunsuz entegrasyon sağlayan, yüksek düzeyde doğrulanmış standart yığın yapıları sunmaktadır.
| tabaka | Çekirdek işlevi | Teknik özellikler |
| Üst Elektrot | Sinyal İletimi | Değerli metal kullanımı sayesinde yüksek iletkenlik ve mükemmel proses kararlılığı. |
| Piezoelektrik Katman | Enerji dönüşümü | Yüksek yoğunluklu, güçlü (100) yönelimli, yüksek itici kuvvete sahip PZT ince film. |
| Arabellek Katmanı | Kristal Yönelimi | Optimize edilmiş arayüz enerjisi; element difüzyonunu bastırır; ferroelektrik yorulma direncini artırır. |
| Alt Elektrot | Yüksek Güvenilirlik Tabanı | Uzun süreli elektriksel kararlılık sağlayan birinci sınıf değerli metal elektrot. |
| Yapışma Katmanı | Bağlantı ve Derleme | Elektrot ile alt tabaka arasındaki mekanik yapışmayı artırır. |
| Alt tabaka (Si/SOI) | Yapısal Destek | 8 inçlik standart Silikon (Si) veya SOI platformlarıyla tamamen uyumludur. |
Özelleştirme ve Döküm Hizmetleri
Yüksek Performanslı Piezoelektrik Uygulamaları için Özel Çözümler
Hizmetlerimiz
● Özel İnce Filmler: Belirli film türleri ve hassas kalınlık ayarı.
● OEM Dökümhanesi: Müşteri tarafından sağlanan silikon levhalar üzerinde yüksek kaliteli üretim.
● SOI Entegrasyonu: Gelişmiş RF/MEMS için özel kaplama.
Özellikler
| Parametre | Özellikler |
| Gofret boyutu | 6 inç / 8 inç |
| En Yüksek Si Direnci | > 5,000 Ω cm |
| Katkı Maddesi ve Kalınlık | Tasarıma göre özelleştirilebilir |
| KUTU Katmanı | Çeşitli kalınlıklar için destek |
Başvurular
8 inçlik PZT piezoelektrik levhalarımız, çeşitli sektörlerdeki yüksek hassasiyet gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır ve verimli elektromekanik dönüşümün temel taşıdır:
● Akustik ve İletişim İnovasyonu: Piezoelektrik Mikroişlenmiş Ultrasonik Transdüserler (pMUT) ve Akustik MEMS (örneğin, yüksek performanslı hoparlörler ve mikrofonlar) için idealdir. Üstün hassasiyet ve faz tutarlılığı ile yongalarımız daha net ses ve yüksek hassasiyetli ultrasonik görüntüleme sağlar. Ek olarak, yüksek Q faktörü özellikleri, 5G/6G sinyal işleme için RF MEMS filtrelerine mükemmel şekilde uygundur.
● Hassas Akışkan Sistemleri ve Nano-Aktüasyon: Mürekkep püskürtmeli yazıcı kafaları ve hassas akışkan kontrolü için, yüksek piezoelektrik katsayılarımız yüksek frekans kararlılığı ve damla hacmi tutarlılığı sağlar. Tıbbi/Estetik Mikro pompalar ve Atomizasyon uygulamalarında, mükemmel yorulma direnci uzun süreli çalışma sırasında hassas akış kontrolünü garanti eder.
● Endüstriyel ve Tıbbi Güvenilirlik: Mikro ölçekli hareket yakalamadan yüksek enerjili ultrasonik püskürtmeye kadar, PZT çözümlerimiz istikrarlı güç çıkışı sağlayarak müşterilerin geleneksel elektromanyetik sürücülerin boyut ve verimlilik darboğazlarının üstesinden gelmelerine yardımcı olur.
Rekabet Avantajı
Mükemmel Elektromekanik Dönüşüm Verimliliği
Gelişmiş doku yönlendirme kontrol teknolojisine dayanan ince film, ultra yüksek etkili piezoelektrik katsayısı e31,f özelliğine sahiptir. MEMS aktüatörleri için temel güç kaynağı olarak, son derece düşük sürüş voltajlarında yüksek frekanslı, büyük yer değiştirmeli deformasyon çıkışı sağlar.
Seri Üretim Kalitesinde Proses Tekdüzeliği
Atomik seviyede film oluşum kontrol teknolojisi, 8 inçlik tam plaka ince filmlerin kalınlık homojenliğinin endüstri standardı seviyelere ulaşmasını sağlar. Nanometre altı yüzey pürüzlülüğü, hassas akustik ve optik mikro yapıların işleme gereksinimlerini mükemmel şekilde karşılar.
Sıkı Kalite ve Güvenilirlik
Ultra düşük kusur yoğunluğu ve üstün parçacık kontrolü, sonraki mikro-nano üretimde desenleme verimliliğini önemli ölçüde artırır. Optimize edilmiş çok katmanlı yapı ve özel tampon katman tasarımı, ferroelektrik yorgunluğunu etkili bir şekilde bastırarak, karmaşık çalışma koşulları altında cihazların uzun vadeli kararlılığını sağlar.
