SiC Seramikleri

SiC seramikleri, özellikle zorlu koşullarda daha iyi performans gösterdikleri için yarı iletken ekipmanlarında giderek daha fazla kullanılmaktadır. Sıcaklık yükseldiğinde veya işlem daha agresif hale geldiğinde, kuvars veya silikon gibi malzemeler sınırlarını göstermeye başlayabilir ve genellikle SiC burada devreye girer. Oksidasyon veya difüzyon gibi fırın işlemlerinde, SiC'den yapılmış wafer tekneleri veya kürekler gibi parçalar daha uzun süre dayanma eğilimindedir. Şekillerini korurlar ve uzun süre çalıştıktan sonra bile fazla kirlilik oluşturmazlar. Özellikle bakım çok sıklaştığında, insanlar bu nedenle kuvarsdan SiC'ye geçiş yaparlar.

Aşındırma işleminde, SiC genellikle plazmaya daha uzun süre dayanabildiği için tercih edilir. Silikon parçalara kıyasla ömür farkı birçok kurulumda fark edilir olsa da, bu yine de tam olarak kullanılan işleme bağlıdır. Ayrıca, düğümler küçüldükçe daha hassas hale gelen parçacık kontrolüne de biraz yardımcı olur. SiC'nin MOCVD veya CVD'de de suseptör olarak kullanıldığını göreceksiniz. Bu durumlarda, "dayanıklılık"tan ziyade sıcaklık davranışının istikrarlı tutulması daha önemlidir. Bunun dışında, astar veya duş başlığı gibi hazne parçalarında ve bazen de taşıma bileşenlerinde de karşımıza çıkar.