SiC kristal tohumu bağlama için vakumlu sıcak presleme fırını

Tohum kristal bağlama, kristal büyümesini etkileyen kritik süreçlerden biridir. Semixlab, tohum kristal bağlamanın özelliklerine dayanarak, tohum kristal bağlama için özel vakumlu sıcak pres ekipmanı geliştirmiştir. Bu ekipman, bağlama işlemi sırasında oluşan çeşitli kusurları etkili bir şekilde azaltarak, tohum kristal bağlamanın verimliliğini ve kristallerin nihai kalitesini iyileştirir.

Ⅰ. Tohum Kristal Bağlama Vakumlu Sıcak Presleme Ekipmanlarına Giriş

1. SiC kristal büyümesinden önce tohum kristalinin bağlanması için kullanılır;

2. Yapıştırılmış tohumlar, 2300°C'de ayrılmadan yapışmayı koruyarak, yüksek düzlük ve safsızlık adsorpsiyonundan arındırılmış temiz gofret yüzeyleri ile %100 kabarcıksız yapışma sağlar;

3. Isıtma tablası, eşit sıcaklık dağılımı, güvenli çalışma ve kullanıcı dostu kullanım sağlayan disk tipi dirençli ısıtma kullanır;

4. Tepsinin altına monte edilmiş basınç sensörleri, iş parçasına uygulanan basıncı hassas bir şekilde gösterir.

II. Tohum Kristal Vakumlu Sıcak Presleme Ekipmanının Fonksiyonel Genel Bakışı

Semixlab Tohum Kristal Vakumlu Sıcak Pres Fırını, silisyum karbür tohum kristallerinin vakum destekli sıcak preslenmesi için tasarlanmıştır.

1. Çift katmanlı su soğutmalı metal hazne, fırın yüzey sıcaklığını etkili bir şekilde düşürür, yüksek sıcaklık tehlikelerini en aza indirir ve çevresel etkiyi azaltır;

2. Otomatik basınç uygulama ve tutma, kademeli yükleme ve otomatik kontrol ile yer değiştirme yeteneğine sahip;

3. Çeşitli vakum sistemi konfigürasyonları, proses gereksinimlerine bağlı olarak farklı vakum seviyelerinin seçilmesine olanak tanır;

4. Düzgün basınç dağılımı ve yüksek sıcaklık kontrol hassasiyeti;

5. Basınç uygulaması, doğru ve istikrarlı basınç iletimi için hassas mekanik itme mekanizmalarını kullanır ve güvenli çalışma ile çevresel uyumluluğu sağlar;

6. Üst pres başlığı ile itme çubuğu arasındaki üniversal mafsal bağlantısı, presleme sırasında üst başlık ve alt tepsi arasında uyarlanabilir paralellik sağlayarak düzgün basınç dağılımını garanti eder;

7. Üst pres başlığı, darbe olmadan düzgün ve nazik kuvvet iletimi için yastıklama basıncı uygulama mekanizmasına sahiptir ve iş parçasının kırılmasını önler;

8. Isı transfer plakasına entegre edilmiş sıcaklık sensörleri, sıcaklık kontrol cihazıyla arayüz oluşturarak hassas ısıtma sıcaklığı ve programlanabilir kontrol imkanı sağlar;

9. Hem palet hem de üst pres başlığı, ısı kaybını en aza indirmek için yalıtım cihazları içermektedir.

III. Semixlab Tohum Kristal Vakumlu Sıcak Presleme Ekipmanının Performansı ve Özellikleri

1. Kontrollü pompalama hızıyla kademeli vakum ekstraksiyonu;

2. Geniş yükseltme potansiyeli için büyük hazne;

3. Otomatik çalışma özelliğine sahip, sabit baskı kafası;

4. Otomatik basınç eğimi ve reçete düzenlemesi ile basınç artırma ve düşürme kontrolü;

5. Programlanabilir sıcaklık ve basınç döngüleri ile hassas sıcaklık kontrolü;

6. Çeşitli yapıştırma işlemleri için özelleştirilebilir vakum, basınç ve sıcaklık parametreleri;

7. Kabarcık oluşmayan yoğun bağ;

8. Son derece düşük kırılma oranı—cihaz kaynaklı kırılma neredeyse hiç yok;

9. Uyumluluk: 6-12 inçlik wafer'ları destekler;

10. Azami aşağı doğru basınç: 1.6 T;

11. Nihai vakum: 5 Pa (soğuk);

12. Heating platform temperature uniformity: <±3℃, σ<4 (at 200℃);

13. Pressure fluctuation: <0.5%.

Tohum bağlama için sıcak presleme fırınının parametreleri