Kuvars Parçaları

Kuvars, yarı iletken işleme süreçlerinde hala her yerde kullanılıyor. Yeni bir malzeme değil, ancak güvenilir ve çoğu üretim tesisi nasıl davrandığını biliyor. Saflığı kontrol edildiği sürece, difüzyon, oksidasyon ve temizleme adımlarında iyi sonuç veriyor.

Kuvars parçalarının çoğu fırın sistemlerinde veya PECVD aletlerinde kullanılır. Temel beklenti istikrardır; uzun ömür şart değil, ancak öngörülebilir performans. Bu genellikle birçok standart işlem için yeterlidir.

Elbette, kuvarsın da sınırları var. Özellikle SiC ile karşılaştırıldığında, belirli koşullar altında daha hızlı aşınabilir. Ancak nispeten kolay temin edilebilmesi ve çok pahalı olmaması nedeniyle insanlar hala oldukça sık kullanıyor.