EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Yarı iletken kuvars banyosu
Hızlı Detay:
1.Diğer isimler: Yarı iletken kuvars tankı, yarı iletken için kuvars banyosu, yarı iletken için kuvars tankı.
2.Uygulama: Yarıiletken Kuvars Banyosu, yarıiletken üretiminde hassas temizlik ve kimyasal işleme için özel olarak tasarlanmış yüksek saflıkta, korozyona dayanıklı bir bileşendir. WS-620C/ WS-820C/ WS-820L sistemiyle uyumluluk için tasarlanan bu kuvars banyo, yüksek sıcaklık koşullarında (175°C'ye kadar) çalışır ve fosforik asit (H₃PO₄) çözeltileriyle kullanım için optimize edilmiştir ve kritik yonga temizleme süreçlerinde olağanüstü performans sağlar.
3. Temel parametreler:
Erimiş kuvars (>%99.99 SiO₂).
Yüksek sıcaklıklarda H₃PO₄'ye (fosforik asit) karşı olağanüstü kimyasal inertlik, bozulmayı veya partikül oluşumunu önler.
160°C'de sürekli çalışmaya ve 175°C'lik maksimum sıcaklıklara dayanarak yapısal bütünlüğünü ve boyut kararlılığını korur.
Açıklama
Yarıiletken Kuvars Banyosu, yarıiletken üretiminde hassas temizlik ve kimyasal işleme için özel olarak tasarlanmış yüksek saflıkta, korozyona dayanıklı bir bileşendir. WS-620C/ WS-820C/ WS-820L sistemiyle uyumluluk için tasarlanan bu kuvars banyo, yüksek sıcaklık koşullarında (175°C'ye kadar) çalışır ve fosforik asit (H₃PO₄) çözeltileriyle kullanım için optimize edilmiştir ve kritik yonga temizleme süreçlerinde olağanüstü performans sağlar.
Ana Özellikler
Maddi Üstünlük
Yüksek Saflıkta Kuvars: Sentetik eritilmiş kuvarstan (>%99.99 SiO₂) üretilir, minimum kirlenme ve termal şoka karşı direnç sağlar.
Asit direnci
Yüksek sıcaklıklarda H₃PO₄'ye (fosforik asit) karşı olağanüstü kimyasal inertlik, bozulmayı veya partikül oluşumunu önler.
Termal kararlılık
160°C'de sürekli çalışmaya ve 180°C'lik maksimum sıcaklıklara dayanıklıdır, yapısal bütünlüğünü ve boyutsal kararlılığını korur.
Performans Faydaları
Kirlenme Kontrolü: Ultra pürüzsüz yüzey kalitesi, alt mikron yarı iletken düğüm prosesleri için kritik öneme sahip olan partikül yapışmasını en aza indirir.
Uzun Ömürlülük: Kuvarsın asit korozyonuna ve termal yorgunluğa karşı direnci, hizmet ömrünü uzatır, arıza süresini ve bakım maliyetlerini azaltır.
İşlem Tutarlılığı: Kararlı termal iletkenlik, düzgün sıcaklık dağılımını sağlayarak temizleme verimliliğini ve tekrarlanabilirliği artırır.
Neden Semixlab'ın Yarıiletken Kuvars Banyosunu Seçmelisiniz?
Yarı İletken Sınıfı Kalite: SEMI standartlarını karşılamak için temiz oda ortamında üretilmiştir.
Kişiye Özel Çözümler: Belirli proses gereksinimlerine uyacak şekilde özel tasarımlar mevcuttur.
Güvenilirlik: Sıkı kalite testleri, yarı iletken endüstrisinin taleplerine uyumu garanti eder.
Özellikler
| mekanik özellik | Yoğunluk (g/cm3)3) | 2.2 |
| Mohs sertliği | 6-7 | |
| Basınç dayanımı (MPa) | 1100 | |
| Çekme dayanımı (N/mm)2) | 50 | |
| Eğilme dayanımı (N/mm)2) | 65 | |
| Burulma dayanımı (N/mm)2) | 30 | |
| Young modülü (MPa) | 7.2x104 | |
| Poisson oranı | 0.16 | |
| Termal özellikler | Isıl genleşme katsayısı (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Isı iletkenliği (20℃,W·m)-1k-1) | 1.4 | |
| Özgül ısı (20℃, J·kg)-1k-1) | 670 | |
| Yumuşama noktası (℃) | 1700 | |
| Tavlama noktası (℃) | 1180 | |
| Gerinim noktası (℃) | 1080 | |
| Elektrik özelliği | Elektriksel direnç (Ω·m) | 1x1016(20°C) |
| Dielektrik sabiti (10GHz) | 3.74 | |
| Dielektrik kaybı (10GHz) | 0.0002 | |
| Dielektrik dayanım (V·m)-1) | 3.7x107 |
Başvurular
Wafer Temizliği: H₃PO₄ bazlı solüsyonlardaki aşındırma veya litografi sonrası fotorezist, kalıntı ve kirleticilerin giderilmesi.
Yüksek Sıcaklık Prosesleri: Yüksek sıcaklıklarda agresif kimyasallar gerektiren gelişmiş yarı iletken üretim adımları için uygundur.
Uyumluluk: Mantık, bellek veya güç aygıtları üreten fabrikalardaki WS-620C/ WS-820C/ WS-820L sistemleri için idealdir.
