Shield 150mm Sputter Etch

Shield 150MM Sputter Etch 0200-09083, 150 mm wafer püskürtme aşındırma sistemleri için tasarlanmış hassas bir yarı iletken oda bileşenidir. Plazma işleme odalarının içine monte edilen bu kalkan, iç oda yapılarının doğrudan plazma maruziyetinden, püskürtülen parçacıklardan ve işlem yan ürünlerinden korunmasında kritik bir rol oynar. Yüksek saflıkta yarı iletken sınıfı malzemelerden üretilmiştir. Optimize edilmiş geometrisi, birikim kontrolüne, oda temizliğinin korunmasına ve tutarlı wafer işleme için kararlı plazma koşullarının desteklenmesine yardımcı olur. Önemli bir oda koruma bileşeni olarak Shield 0200-09083, ekipman servis ömrünü uzatmaya, kirlenme risklerini azaltmaya ve genel işlem kararlılığını iyileştirmeye yardımcı olur. Sorunuzu bekliyoruz.

Ürüne Genel Bakış

SHIELD 150MM SPUTTER ETCH 0200-09083, püskürtmeli aşındırma ve yüzey hazırlama işlemlerinde kullanılan plazma işleme sistemlerine monte edilen bir hazne koruma bileşenidir. Özellikle 150 mm'lik wafer işleme platformları için tasarlanmıştır ve haznenin iç koruma yapısının bir parçasını oluşturur.

Önemli Ürün Bilgileri

Püskürtme aşındırma modülleri içerisinde, kalkan, hassas hazne donanımını plazma maruziyetinden ve birikimden koruyan bir bariyer görevi görür.

İç hazne mimarisinin bir parçası olarak, koruyucu kalkan, istikrarlı bir işlem ortamının ve güvenilir ekipman çalışmasının sağlanmasına katkıda bulunur.

Yarıiletken Ekipmanların İçindeki İşlevler

Püskürtme aşındırma sistemlerinin içinde, Shield 0200-09083, hazne performansını ve gofret işleme kalitesini doğrudan etkileyen çeşitli önemli işlevleri yerine getirir.

Oda Koruması

Bu kalkan, püskürtülen parçacıkların ve reaktif plazmanın doğrudan hazne duvarlarına ve kritik donanımlara çarpmasını önleyen, koruyucu bir katman görevi görür.

Çökeltiyi ve plazma maruziyetini emerek, pahalı oda bileşenlerinin kullanım ömrünü uzatmaya yardımcı olur.

Parçacık ve Çökeltme Kontrolü

Püskürtmeli aşındırma işlemleri sırasında, parçacıklar ve malzeme birikimi hazne içinde birikebilir. Koruyucu kalkan bu malzemenin büyük bir kısmını yakalayarak şunlara yardımcı olur:

● Parçacık oluşumunu azaltın

● Oda temizliğini iyileştirin

● İstikrarlı proses koşullarını koruyun

Plazma Sınırı Stabilizasyonu

Kalkanın fiziksel geometrisi, oda içindeki plazma bölgesinin tanımlanmasına yardımcı olur. Bu da istikrarlı iyon dağılımına ve tutarlı işlem performansına katkıda bulunur.

Ana Bileşenlerin Korunması

Bu kalkan, aşağıdakiler gibi hassas oda elemanlarını korumaya yardımcı olur:

● Elektrostatik mandrenler

● Isıtıcı tertibatları

● Oda astarları

● Gaz dağıtım yapıları

Plazmaya doğrudan maruz kalmayı sınırlayarak, kalkan ekipmanın uzun vadeli ve güvenilir çalışmasını destekler.

Malzeme ve Avantajları

0200-09083 Püskürtme Aşındırma Kalkanı, genellikle plazma ortamlarında mükemmel performansı nedeniyle yarı iletken ekipmanlarda yaygın olarak kullanılan yüksek saflıkta erimiş kuvarsdan üretilir.

Yüksek Saflıkta Kuvarsın Avantajları

Üstün Plazma Direnci: Kuvars, iyon bombardımanına ve plazma erozyonuna karşı güçlü direnç gösterir ve bu sayede uzun süreli püskürtme işlemlerine dayanabilir.

Ultra Düşük Kirlenme Riski: Yarı iletken sınıfı kuvars, son derece düşük metalik safsızlıklar içerir ve bu da gofret işleme sırasında parçacık kirlenmesini azaltmaya yardımcı olur.

Mükemmel Termal Kararlılık: Erimiş kuvars, plazma odalarında sıkça karşılaşılan yüksek sıcaklıklar ve hızlı termal döngüler altında yapısal bütünlüğünü korur.

Elektrik Yalıtımı: Kuvars, elektriksel olarak yalıtkan bir malzemedir ve bu özelliği sayesinde işlem odası içinde kararlı elektrik alanlarının korunmasına ve plazma homojenliğinin iyileştirilmesine yardımcı olur.

Kimyasal Uyumluluk: Kuvars, püskürtme aşındırma işlemlerinde kullanılan reaktif gazlara karşı güçlü direnç göstererek uzun vadeli istikrar ve minimum bozulma sağlar.

Bu malzeme özellikleri, kuvarsı plazmaya maruz kalan yarı iletken oda bileşenleri için ideal bir seçim haline getiriyor.