EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Yüksek Saflıkta Yumuşak Keçe
Semixlab'ın Yüksek Saflıkta Yumuşak Keçesi, yarı iletken üretiminde zorlu yüksek sıcaklık termal alan uygulamaları için özel olarak tasarlanmıştır. Yüksek kaliteli karbon bazlı öncüllerden üretilen ve gelişmiş işlemlerle saflaştırılan bu yumuşak keçe malzeme, ultra düşük safsızlık seviyeleri, mükemmel ısı yalıtımı ve olağanüstü yapısal uyarlanabilirlik sunar. Esnek yapısı, karmaşık termal alan tasarımlarına hassas bir şekilde uyum sağlayarak optimize edilmiş sıcaklık gradyanları ve kararlı işlem koşulları sağlar. Sorularınız için bekliyoruz.
Açıklama
Termal alanlarda saflık neden önemlidir? Üçüncü nesil üretimde?
Yarı iletkenlerde (SiC/GaN), yüksek kül içeriğine (500 ppm'nin üzerinde) sahip geleneksel yalıtım keçeleri, 1600°C'nin üzerindeki sıcaklıklarda metalik safsızlıklar salma eğilimindedir. Bu durum kafes kusurlarına neden olur ve gofret verimini düşürür.
Semixlab'ın yumuşak keçesi, toplam safsızlık seviyesini 5 ppm'nin altına düşüren özel yüksek sıcaklık kimyasal saflaştırma işlemimizden geçer. Bu, yalnızca temiz bir büyüme ortamı sağlamakla kalmaz, aynı zamanda uzun döngülü kristal büyümesi için gereken aşırı termal kararlılığı da sunar.
Semixlab Edge
Biz sadece bir tedarikçi değiliz, yüksek sıcaklık bölgesi ortağınızız. CAS araştırmacıları tarafından kurulan şirketimiz, yalıtım çözümlerini CVD kaplamalarla (TaC/SiC) birleştirmede mükemmeldir. Sadece yalıtım keçesi tedarik etmiyoruz; enerji tüketimini azaltmak için grafit ısıtıcılar ve gözenekli TaC kullanarak tüm termal alanınızı optimize ediyoruz. Şirket içi 5 eksenli CNC işleme teknolojimiz, fırın tasarımınıza sıfır hatayla tam olarak uyan özel, önceden monte edilmiş kitler üretmemizi sağlar.
Özellikler
| Emlaklar | Premium PAN Bazlı Keçe | Yüksek Özellikli Viskon Bazlı Keçe |
| Toplam Safsızlıklar | ≤5 ppm (GDMS) | ≤10 sayfa/dk |
| Karbon İçeriği | ≥ 99.99% | ≥ 99.95% |
| Kütle yoğunluğu | 0.10 - 0.15 g/cm³ | 0.08 - 0.12 g/cm³ |
| Termal İletkenlik (@1000°C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09 - 0.13 W/m·K |
| Maksimum Servis Sıcaklığı | 2800°C (İnert/Vakum) | 2600°C (İnert/Vakum) |
| Standart Kalınlık | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
Başvurular
Kritik Uygulamalar
Sahada Kanıtlanmış Performans:
SiC ve Silikon büyümesi (PVT/CZ) için tasarlanan keçemiz, kristal dislokasyonlarını bastırmak için termal dengeleyici görevi görür. MOCVD/Epitaksi (Aixtron, NuFlare ile uyumlu) işlemlerinde, aşındırıcı H2/NH3 akışları altında inert kalır ve safsızlık difüzyonunu engeller. Elyaf Çekme ve Safir Sinterleme işlemlerinde, sıfır gaz salınımı özelliği vakum bütünlüğünü sağlar ve verim kaybını önler.
Rekabet Avantajı
Temel Avantajlar
GDMS ile test edilmiş ultra yüksek saflıkta (<5 ppm). Epitaksiyel büyümede çapraz kontaminasyonu önlemek için Al, B, Fe ve diğer önemli safsızlıklar sıkı bir şekilde kontrol edilmiştir.
Mükemmel ısı yalıtımı: 1000°C'de 0.12 W/m·K kadar düşük termal iletkenlik, ısı kaybını azaltır ve termal gradyanı ±1°C içinde kontrol eder.
Düşük partikül salınımı: Optimize edilmiş elyaf ve yüzey işlemi, vakum döngülerinde toz oluşumunu azaltarak CVD (TaC/SiC) grafit ısıtıcılarını ve kaplayıcılarını korur.
Yüksek esneklik ve uyum: Karmaşık fırınlarda 360° kesintisiz sarma için yumuşak ve sıkıştırılabilir yapıda olup, sert izolasyondan kaynaklanan ısı sızıntılarını önler.
SSS
Optimize Edilmiş SSS
S: Semixlab yumuşak keçe, grafit ısıtıcıların kullanım ömrünü nasıl uzatır?
A: Yumuşak keçemiz, daha istikrarlı bir termal kalkan sağlayarak, hedef sıcaklıkları korumak için ısıtıcının ihtiyaç duyduğu güç yükünü azaltır ve böylece grafit ısıtma elemanlarının karbon süblimasyonunu ve oksidasyonunu yavaşlatır.
S: Keçeniz yüksek akışlı gaz ortamlarında kullanılabilir mi?
A: Evet. Yüksek gaz hızı gerektiren işlemler (MOCVD gibi) için, lif aşınmasını önleyen ve sıfır partikül kirlenmesi sağlayan yüksek yoğunluklu PAN bazlı keçemizi veya grafit folyo kaplamalı hibrit bir çözümü öneriyoruz.
Hizmetlerimiz
